首页>创新创业
泰州巨纳新能源有限公司喜获全国商业科技进步奖一等奖
信息来源:创业中心 发布日期:2019-03-01 08:54 浏览次数: 字号:[ ]

    近日,2018年度中国商业联合会科学技术奖评奖结果揭晓, 泰州巨纳新能源有限公司联合江南大学的成果“多功能宽密度等离子体技术在新材料行业中的应用”获得全国商业科技进步奖一等奖。

   “ 中国商业联合会科学技术奖”是经国家科技部、国家科学技术奖励工作办公室批准设立的奖项,下设“全国商业科技进步奖”子奖项。该奖项旨在表彰在全国商业行业科学研究、技术创新、成果推广、高新技术产业化中做出突出贡献的单位和个人,以此推动商业行业科技进步。中国商业联合会作为国家科学技术奖的推荐部门,每年将从获得年度全国商业科技进步奖项目中,择优推荐国家科学技术奖评审。

    目前市场化的人工低温等离子体技术(无论是电容耦合还是电感耦合等离子体)受限于较窄的等离子体密度范围因此功能比较单一,但是微电子、半导体、新材料以及应用物理等领域不仅需要高质量的薄膜沉积,也需要对材料表面进行等离子体处理来提升性能,因此迫切需要一种可在宽密度工艺范围下工作的多才多艺的等离子体设备。该项目创新性地设计了开发出多功能宽密度等离子体系统:使其兼具电容耦合放电和电感耦合放电,从而集成了电感耦合和电容耦合辉光放电的优点,可在宽密度工艺范围内实现稳定的等离子体放电,并可与磁控溅射同时工作形成等离子体辅助磁控溅射沉积。项目团队将此多功能宽密度等离子体系统应用于非晶硅和氮化硅薄膜的制备,实现了优异的太阳能电池性能;并将其应用于新材料的表面改性,大大提升了多种新材料的质量和应用前景。



【返回顶部】 【打印本页】 【关闭窗口】
Produced By 大汉网络 大汉版通发布系统